氦質譜檢漏儀為氣體工業名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。一般檢漏都采用氦氣(He)作為示漏氣體，但也有用氫氣(H)作為示漏氣體的，考慮到它的化學性質及危險性，在應用中較少使用，所以實際大部分檢漏使用的都是氦氣。氦氣檢漏儀特有的清氦系統，快速有效地清除超標的氦本底，保證檢測的穩定性和準確性；實時監測氦氣壓力和濃度，保證了工件檢測的精度；

檢漏技術在真空領域占有非常重要的地位，它關系到真空設備的各項真空指標，如何快速地找到漏點關系到企業的生產效率與經營成本。氦質譜檢漏儀是第二次期間快速發展起來的一種高精度檢漏儀，其靈.敏度高達10-15pa:m3/s。當今常見的氦質譜檢漏儀靈敏度在10-9 ~10-13pa.m3/s。氦質譜檢測技術以其靈敏度高、速度快、使用安全、適用范圍廣以及可以量化漏點的漏率等特點，在航空、航天、汽車和電力行業得到了廣泛的應用，與其他諸多傳統檢漏方法相比，氦質譜檢漏具有的技術優越性。采用氦質譜檢漏技術，可以實現飛機機翼整體油箱滲漏點的快速定位檢測與修補，保證機翼 翼盒的高質量、率裝配。

檢漏儀調成真空模式，對檢漏儀和機組進行連接，開啟檢漏儀，當真空度達到檢漏儀開檢壓力后，對機組可能的泄漏點吹噴氦氣，當氦氣泄漏量達到檢漏儀設定的報警值時，檢漏儀報警。吹噴氦氣時應當注意以下幾點:從機組的下方到上方，靠近檢漏儀處到遠離檢漏儀處逐步噴吹。檢出大漏后要經過修補再檢小漏。當存在兩個鄰近的漏孔時，蓋住其中- -個漏孔再檢測另一個。當噴吹某點時，檢漏儀顯示值有變化但較為緩慢，表明鄰近的其他地方有較大泄漏。檢漏場地應有良好通風，但不影響噴出氦氣的氣體流向。總結:氦質譜檢漏儀在化鋰吸收式制冷行業廣泛應用以后，使制冷機的壽命有著明顯提高，保證了化鋰制冷機15年以上的使用壽命