促進(jìn)劑的作用是調(diào)整顯影液中氫離子的濃度，從而控制顯影劑的電離濃度。顯影過(guò)程中，溶液中釋放出的氫離子，如果不加以控制，那么會(huì)使溶液中氫離子濃度繼續(xù)增大，使得PH值明顯降低，顯影劑的電離速度就會(huì)明顯減慢，從而嚴(yán)重影響了顯影速度。堿的促進(jìn)作用就在于它與氫離子不斷中和而生成水，從而使顯影液中的顯影離子保持穩(wěn)定的濃度，使顯影進(jìn)行得正常。感光測(cè)定是研究曝光量與其在感光材料所產(chǎn)生的黑化程度之間的關(guān)系。

顯影適用性

A、走版均勻，波動(dòng)小：

B。審液少（顯影液/水洗、水洗/保護(hù)膠、保護(hù)膠/烘干段） ；

C、版材正反面不易產(chǎn)生劃傷（導(dǎo)軌弧度及材質(zhì)問(wèn)題） ；

D、是否在版面留下臟物（輥?zhàn)哟笮〖坝捕龋?；

E、顯影的均勻性；

F、保護(hù)膠均勻性；

G、顯影不同厚度的版子，是否在顯影上存在區(qū)別；

H、是否易卡版；

1、循環(huán)水的再利用系統(tǒng)

測(cè)試步驟

用初始Recipe生產(chǎn)測(cè)試版，并量測(cè)CD做數(shù)據(jù)分析。根據(jù)數(shù)據(jù)分析結(jié)果中Radio誤差數(shù)據(jù)，調(diào)整顯影工藝段Recipe，通過(guò)顯影補(bǔ)償手段使得Radio誤差數(shù)據(jù)優(yōu)。通過(guò)調(diào)整曝光機(jī)Bias，顯影時(shí)間和蝕刻時(shí)間等參數(shù)使得CD Mean指標(biāo)達(dá)標(biāo)。使用優(yōu)化后的Recipe生產(chǎn)測(cè)試版，重復(fù)CD Uniformity測(cè)試，檢驗(yàn)現(xiàn)有工藝條件下該指標(biāo)的性能。工藝原理雙色氧化是利用多種工藝手段在鋁件上陽(yáng)極氧化并形成兩種顏色的過(guò)程。