凈化工程中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應采用空氣過濾器三級過濾。車間凈化工程可以細分為很多方面，每一方面的標準達到了，車間凈化工程才算是成功的。設計凈化系統組織的原則是相鄰二級過濾器的效率不能太接近，也不能相差太大。一般采用初效、中效、亞(或)三級過濾器。也可分四級，增加一級過濾器。凈化工程的一般施工程序：粉塵作業，無塵作業后，不允許交叉作業。 否則會影響項目的質量。 也就是說，在完成所有粉塵產生操作之后，可以進行無塵操作。

潔凈技術專門研究并提供潔凈的生產工藝環境和生產過程中使用的各種高純介質，有效地控制微量雜質，以保證高科技產品的成品率。一般潔凈室高度控制在2.60米，對個別較高的設備可在局部加高，而不宜提高潔凈區的高度。潔凈室施工涉及裝飾、暖通、電氣和氣體等，施工人員須對潔凈室施工規范、施工工藝、施工質量有認識，否則，施工質量很難得到保障。

具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。潔凈室內密封控制重點內容是圍護結構密封施工質量，如板材與板材之間應均勻涂密封膠，達到嚴密不漏風。