凈化工程中各級(jí)空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應(yīng)采用空氣過濾器三級(jí)過濾。車間凈化工程可以細(xì)分為很多方面，每一方面的標(biāo)準(zhǔn)達(dá)到了，車間凈化工程才算是成功的。設(shè)計(jì)凈化系統(tǒng)組織的原則是相鄰二級(jí)過濾器的效率不能太接近，也不能相差太大。一般采用初效、中效、亞(或)三級(jí)過濾器。也可分四級(jí)，增加一級(jí)過濾器。凈化工程的一般施工程序：粉塵作業(yè)，無塵作業(yè)后，不允許交叉作業(yè)。 否則會(huì)影響項(xiàng)目的質(zhì)量。 也就是說，在完成所有粉塵產(chǎn)生操作之后，可以進(jìn)行無塵操作。

潔凈技術(shù)專門研究并提供潔凈的生產(chǎn)工藝環(huán)境和生產(chǎn)過程中使用的各種高純介質(zhì)，有效地控制微量雜質(zhì)，以保證高科技產(chǎn)品的成品率。一般潔凈室高度控制在2.60米，對(duì)個(gè)別較高的設(shè)備可在局部加高，而不宜提高潔凈區(qū)的高度。潔凈室施工涉及裝飾、暖通、電氣和氣體等，施工人員須對(duì)潔凈室施工規(guī)范、施工工藝、施工質(zhì)量有認(rèn)識(shí)，否則，施工質(zhì)量很難得到保障。

具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。潔凈室內(nèi)密封控制重點(diǎn)內(nèi)容是圍護(hù)結(jié)構(gòu)密封施工質(zhì)量，如板材與板材之間應(yīng)均勻涂密封膠，達(dá)到嚴(yán)密不漏風(fēng)。