邊緣曝光裝置,用于對基板的邊緣進行曝光;
顯影裝置,用于對曝光后的基板進行顯影,該邊緣曝光裝置位于該顯影裝置的入口處;
其中,該基板在被輸送至該顯影裝置的過程中,被該邊緣曝光裝置進行邊緣曝光。
東莞市清溪利成曝光顯影