高純氬氣的含義

高純氬氣在半導(dǎo)體工業(yè)中用作生產(chǎn)高純硅和鍺晶體的保護氣體；可用作系統(tǒng)清洗、屏蔽和增壓用惰性氣體；在化學(xué)氣相沉積、濺射和退火等工藝中有所應(yīng)用。高純氬氣可用作色譜載氣，也可用作大規(guī)模集成電路中混合氣體的稀釋氣。

在金屬冶煉方面，氧、氬吹煉是生產(chǎn)優(yōu)好鋼的重要措施，每煉1t鋼的亞氣消耗量為1～3立方米。此外，對鈦、鋯、鍺等特殊金屬的冶煉，以及電子工業(yè)中也需要用亞作保護氣。

高純氬氣充裝過程

1.打開泵進氣閥、預(yù)冷閥和回氣閥，對泵進行預(yù)冷。當(dāng)預(yù)冷閥出口管余氣排出滿管液體時，啟動泵。逐漸關(guān)閉預(yù)冷閥，打開泵出口閥(泵有節(jié)奏的敲擊聲，否則應(yīng)重新預(yù)冷)進行充裝。

2.充裝壓力應(yīng)在5MPa前逐一檢查氬氣瓶的溫升。如果溫升過高，瓶子的充裝應(yīng)終止，并妥善處理。對于無溫升氣瓶，應(yīng)退出氣瓶檢查瓶閥，排除故障，然后單獨充裝。

3.充裝壓力達到1.5MPa后，嚴(yán)禁插入空瓶。

4.充裝時應(yīng)控制充裝速度，每組氬氣瓶的充裝時間不小于30min。

5.注意觀察氣化器出口溫度不低于0℃。

怎樣鑒別氬氣的純度?

1.使用儀器檢測：目前市面上有一些專門的氣體分析儀器，可以用于測試氣體的成分和純度。這種方法能夠提供較為準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)，并且可以測試多種氣體的組分。

2.觀察氣體顏色：純氬氣呈無色透明狀態(tài)，亞氣呈現(xiàn)其他顏色，微黃或者灰色，那么說明其中混雜了其它雜質(zhì)。但這個方法只能作為一個初步的參考標(biāo)準(zhǔn)。

3.通過氣味進行判斷：氬氣是一種惰xing氣體，不具備氣味。氣體中出現(xiàn)異味或者刺激xing氣味，說明其中雜質(zhì)含量較高，純度相對較低。

4.總之，在鑒別氬氣純度時，很好使用專門的儀器進行測試，以獲取更加準(zhǔn)確的結(jié)果。沒有條件使用專門的儀器，也可以通過觀察氣體顏色和氣味等方式進行初步的判斷，但需要注意的是，這種方法只是一個簡單的參考標(biāo)準(zhǔn)，并不能提供準(zhǔn)確數(shù)據(jù)。