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雖然氬氣中的氮濃度也可僅通過由變壓吸附法進行的吸附來降低，但通過并用由變溫吸附法進行的吸附可減輕用于實施變壓吸附法的PSA單元的負荷，能夠與提純前的氬氣中雜質濃度的變化相對應地切實除去雜質。由此，可進一步提高提純后的氬氣純度。而且，能夠在由變溫吸附法進行的吸附處理的前處理階段從氬氣中除去氧，因此可減少由變溫吸附法進行的吸附處理時的冷卻能量。再者，無需使一氧i化碳從變溫吸附法中使用的吸附劑脫附，能夠降低吸附劑的再生所需的能量。混合氣批發

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精氬塔底部設有排放純液氬的排水管，排水管上設有排水閥。該液氬塔包括塔體，塔體頂部設有出氣口，塔體上側壁設有液氮進口，塔體上設有與液氮進口連接的液體分布器，液體分布器下方設有至少兩層填料層，每兩層填料層之間設有液體分布器，所有液體分布器相互連通，塔體下側壁設有粗氬入口，塔體底部設有液氬出口。每個包裝層的底部設有支撐板，頂部設有蓋板。塔體底部設有錐形管，液體分配器包括中心管，中心管底部設有圓盤，圓盤上均勻分布有多個漏液孔。混合氣批發