氦質(zhì)譜檢漏用氦氣的選擇

氦氣是一種無(wú)色、無(wú)味的隋性氣體。相對(duì)分子質(zhì)量為4.003，分子直徑為2.18×10-10m，分子的質(zhì)量為3.65×10-27kg，在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的密度為0.1769kg/m3，臨界溫度為5.25K，臨界壓力為2.26×105Pa，1atm壓力下的沸點(diǎn)為4.214K，熔點(diǎn)為0.9K，三相點(diǎn)溫度為2.186K，三相點(diǎn)壓力為51.1×10-2Pa，在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的熱導(dǎo)率為510.79J/(m·h·K)，在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的定壓比熱為5233J/(kg·K)，在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的動(dòng)力粘度系數(shù)為1.86×10-5Pa·s，1L液氦氣化為標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氦氣體積為700L。氦氣在在半導(dǎo)體中的檢漏作用為了防止半導(dǎo)體器件、集成電路等元器件的表面因玷污水汽等雜質(zhì)而導(dǎo)致性能退化，就必須采用管殼來(lái)密封。

用氦氣作為氦質(zhì)譜檢漏氣體的原因

氦氣檢漏儀時(shí)候氦質(zhì)譜檢漏儀的俗稱，運(yùn)用質(zhì)譜原理制成的儀器稱為質(zhì)譜計(jì)或質(zhì)譜儀。質(zhì)譜儀通過(guò)其部件質(zhì)譜室，使不同質(zhì)量的氣體變成離子并在某種場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)后，不同質(zhì)荷比的離子在場(chǎng)中彼此分開(kāi)，而相同質(zhì)荷比的離子在場(chǎng)中匯聚在一起，如果在適當(dāng)位置安置接收所有這些離子，就會(huì)得到按照質(zhì)荷比大小依次分開(kāi)排列的質(zhì)譜圖，這就是質(zhì)譜。背壓法氦質(zhì)譜檢漏采用背壓法檢漏時(shí)，首先將被檢產(chǎn)品置于高壓的氦氣室中，浸泡數(shù)小時(shí)或數(shù)天，如果被檢產(chǎn)品表面有漏孔，氦氣便通過(guò)漏孔壓入被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔中，使內(nèi)部密封腔中氦分壓力上升。

為什么氦質(zhì)譜儀要用外置標(biāo)準(zhǔn)漏孔標(biāo)定

輸入錯(cuò)誤的內(nèi)置漏孔漏率值，氦質(zhì)譜儀自檢時(shí)一般也能通過(guò)，說(shuō)明氦質(zhì)譜儀是對(duì)比性測(cè)試設(shè)備，氦質(zhì)譜儀本身并不知道檢漏信號(hào)對(duì)應(yīng)的漏率是多少，必須要有參照物——標(biāo)注漏孔來(lái)確定。

因此，現(xiàn)有氦檢漏相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)中都詳細(xì)規(guī)定了氦質(zhì)譜檢漏儀在使用前，使用過(guò)程中和使用后要正確使用標(biāo)準(zhǔn)漏孔進(jìn)行標(biāo)漏，才能保證氦檢漏結(jié)果的正確性。

氦檢漏服務(wù)

為了正確使用氦氣檢漏設(shè)備，在充入檢漏氣體前有必要對(duì)抽空樣品進(jìn)行預(yù)抽空。如果在填充前沒(méi)有排空，試件中的空氣將被擠壓到幾何空間的末端，氦氣檢漏設(shè)備中的氣體不能進(jìn)入該部分，因此潛在的檢漏孔將僅釋放空氣，檢漏設(shè)備不能檢測(cè)到這些檢漏孔。氦氣檢漏設(shè)備的泄漏孔通常很小或很窄。正壓法氦質(zhì)譜檢漏采用正壓法檢漏時(shí)，需對(duì)被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室充入高于一個(gè)大氣壓力的氦氣，當(dāng)被檢產(chǎn)品表面有漏孔時(shí)，氦氣就會(huì)通孔漏孔進(jìn)入被檢外表面的周圍大氣環(huán)境中，再采用吸槍的方式檢測(cè)被檢產(chǎn)品周圍大氣環(huán)境中的氦氣濃度增量，從而實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品泄漏測(cè)量。如果泄漏孔在檢漏氣體試驗(yàn)前放在水箱中，這些泄漏孔或毛細(xì)管會(huì)被水堵塞或充滿，從而大大影響檢漏結(jié)果。