眾所周知，靶材材料的技術(shù)發(fā)展趨勢與下游應用產(chǎn)業(yè)的薄膜技術(shù)發(fā)展趨勢息息相關，隨著應用產(chǎn)業(yè)在薄膜產(chǎn)品或元件上的技術(shù)改進，靶材技術(shù)也應隨之變化。如Ic制造商．近段時間致力于低電阻率銅布線的開發(fā)，預計未來幾年將大幅度取代原來的鋁膜，這樣銅靶及其所需阻擋層靶材的開發(fā)將刻不容緩。但熱壓法生產(chǎn)的ITO靶材由于缺氧率高，氧含量分布不均勻，從而影響了生產(chǎn)ITO薄膜的均勻性，且不能生產(chǎn)大尺寸的靶。另外，近年來平面顯示器（FPD）大幅度取代原以陰極射線管（CRT）為主的電腦顯示器及電視機市場．亦將大幅增加ITO靶材的技術(shù)與市場需求。此外在存儲技術(shù)方面。高密度、大容量硬盤，高密度的可擦寫光盤的需求持續(xù)增加．這些均導致應用產(chǎn)業(yè)對靶材的需求發(fā)生變化。下面我們將分別介紹靶材的主要應用領域，以及這些領域靶材發(fā)展的趨勢。

工業(yè)上大量使用的是工業(yè)純稀土金屬，較高純度的稀土金屬主要供測定物理化學性能之用。對橡膠組合物進行硫化處理的方法包括使用加壓裝置和硫化處理槽的間歇式或連續(xù)式硫化法。主要有四種提純方法在試驗室中使用，即真空熔融，真空蒸餾或升華，電遷移和區(qū)域熔煉。 稀土金屬棒在區(qū)域熔煉爐中以很慢的速度（如提純釔時為0.4毫米/分），進行多次區(qū)熔，對去除鐵、鋁、鎂、銅、鎳等金屬雜質(zhì)有明顯效果，但對氧、氮、碳、氫無效。此外，電解精煉、區(qū)熔－電遷移聯(lián)合法提純稀土也有一定效果。

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線路板廠:鍍金(沉鑷金)廢水,含金泥巴,掛具廢渣,邊料.剝金水.修補金手指用的棉花頭和打磨粉,金手指斜邊粉.錫渣,錫條,鎳角.各種柔性線路板邊框廢料.鎳缸脫缸板,銅缸脫缸板,覆銅板,報廢金板,金邊框等!超純金屬超純的純度也可以用剩余電阻率來測定，其值約為2×10-5。測試用的報廢測試針.各種過濾金用的碳芯,活性炭芯等.

背靶材料：

無氧銅(OFC)– 目前常使用的作背靶的材料是無氧銅，因為無氧銅具有良好的導電性和導熱性，而且比較容易機械加工。 如果保養(yǎng)適當，無氧銅背靶可以重復使用10次甚至更多。

鉬(Mo)– 在某些使用條件比較特殊的情況下，如需要進行高溫帖合的條件下，無氧化銅容易被氧化和發(fā)生翹曲, 所以會使用金屬鉬為背靶材料或某些靶材如陶瓷甚至某些金屬靶材的熱膨脹系數(shù)無法與無氧銅匹配，同樣也需要使用金屬鉬作為背靶材料。