凈化工程中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應采用空氣過濾器三級過濾。車間凈化工程可以細分為很多方面，每一方面的標準達到了，車間凈化工程才算是成功的。設計凈化系統組織的原則是相鄰二級過濾器的效率不能太接近，也不能相差太大。一般采用初效、中效、亞(或)三級過濾器。也可分四級，增加一級過濾器。凈化工程的一般施工程序：粉塵作業，無塵作業后，不允許交叉作業。 否則會影響項目的質量。 也就是說，在完成所有粉塵產生操作之后，可以進行無塵操作。

布置工藝的流程盡可能短，減少交叉往復，、物流走向合理。要配備人員凈化室、物料凈化室，除配備產品工序要求的用室外，還應配備潔具室、洗衣間、暫存室等，每間用室相互，凈化工程的面積應在保證基本要求前提下，與生產規模相適應。潔凈室的構成是由下列各項系統所組成(在所組成的系統分子中是缺一不可的)，否則將無法構成一完整且品質良好的潔凈室。 凈化工程所特別設計的房間簡稱為：潔凈室、無塵室、無菌室、無塵車間、潔凈廠房等，主要目的是控制環境內的溫濕度、潔凈度、氣流、噪音等達到標準。

具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。潔凈室內密封控制重點內容是圍護結構密封施工質量，如板材與板材之間應均勻涂密封膠，達到嚴密不漏風。