凈化工程中各級(jí)空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應(yīng)采用空氣過濾器三級(jí)過濾。車間凈化工程可以細(xì)分為很多方面，每一方面的標(biāo)準(zhǔn)達(dá)到了，車間凈化工程才算是成功的。設(shè)計(jì)凈化系統(tǒng)組織的原則是相鄰二級(jí)過濾器的效率不能太接近，也不能相差太大。一般采用初效、中效、亞(或)三級(jí)過濾器。也可分四級(jí)，增加一級(jí)過濾器。凈化工程的一般施工程序：粉塵作業(yè)，無塵作業(yè)后，不允許交叉作業(yè)。 否則會(huì)影響項(xiàng)目的質(zhì)量。 也就是說，在完成所有粉塵產(chǎn)生操作之后，可以進(jìn)行無塵操作。

布置工藝的流程盡可能短，減少交叉往復(fù)，、物流走向合理。要配備人員凈化室、物料凈化室，除配備產(chǎn)品工序要求的用室外，還應(yīng)配備潔具室、洗衣間、暫存室等，每間用室相互，凈化工程的面積應(yīng)在保證基本要求前提下，與生產(chǎn)規(guī)模相適應(yīng)。潔凈室的構(gòu)成是由下列各項(xiàng)系統(tǒng)所組成(在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的)，否則將無法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的潔凈室。 凈化工程所特別設(shè)計(jì)的房間簡(jiǎn)稱為：潔凈室、無塵室、無菌室、無塵車間、潔凈廠房等，主要目的是控制環(huán)境內(nèi)的溫濕度、潔凈度、氣流、噪音等達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)。

具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。潔凈室內(nèi)密封控制重點(diǎn)內(nèi)容是圍護(hù)結(jié)構(gòu)密封施工質(zhì)量，如板材與板材之間應(yīng)均勻涂密封膠，達(dá)到嚴(yán)密不漏風(fēng)。