2分鐘前 蒼南保溫杯曝光顯影廠商來電洽談 利成感光五金廠[利成感光38dbdb8]內容:
顯影工藝是怎樣?
前工站加工的玻璃進入顯影設備,對需要去除的油墨進行化學反應,進行剝離,然后進行表面清洗,形成高精度的油墨3D蓋板。顯影操作需控制好顯影液的溫度、傳送速度、噴淋壓力等參數。
曝光一般在曝光機內進行,目前的曝光機依據光源冷卻方式可分為風冷和水冷,曝光質量取決于除干膜致抗蝕劑、光源選擇、曝光時間、菲林膠片質量等因素。

曝光步驟是將光線聚焦在光刻膠上,而顯影步驟則是將底材浸泡在顯影劑中達到消除未曝光區域的目的。通過曝光顯影技術,可以在微米尺度上制造出高精度的微電子元器件和芯片。顯影液表面停留(puddle):為了讓顯影液與光刻膠進行充分反應,顯影液噴淋后需要在硅片表面停留一般為幾十秒到一兩分鐘。為感光的油墨被顯影液去除,通過這樣的方式,需要蝕刻的圖案顯影在鋼片上面了。

曝光顯影可以制造微小的電容、電阻、晶體管、發光二極管或太陽能電池等晶體管器件,快速將電信號轉變為其他形式的能量。曝光顯影技術可以制造出高精度微納米級別下的芯片制造工藝,大大提高了芯片質量及其可靠性。預噴淋(p-wet):為了提高后面顯影液在硅片表面的附著性能,先在硅片表面噴上一點去離子水(Deionizedwater,DIW)。

用負顯影工藝可以實現較窄的溝槽,負顯影工藝已經被廣泛用于20納米及以下技術節點的量產中 [1] 。顯影液表面停留(puddle):為了讓顯影液與光刻膠進行充分反應,用負顯影工藝可以實現較窄的溝槽,負顯影工藝已經被廣泛用于20納米及以下技術節點的量產中 [1] 。所以的辦法是依據顯影的干膜光亮程度,圖像清晰度,圖案線條與底片相符,曝光設備參數和感光性能,確定適合的曝光時間。
