氦氣是較輕的惰性氣體，在噴出時會自動上升，為了準(zhǔn)確找到漏孔位置噴氦，使用此方法時噴氦自上而下，由近至遠(yuǎn)（相對檢漏儀的位置），這是因為在下方時有可能被上方漏孔吸入；氦質(zhì)譜檢漏方法 以其高靈敏度和準(zhǔn)確性而通常應(yīng)用于整體防漏等級較高的壓力容器上。 氦檢方法基本上可分為用氦氣內(nèi)部加壓法和 設(shè)備內(nèi)部抽真空外部施氦這兩種。對于分裝或總裝，采用吸入法。被檢工件沖入氦-氮混合氣體，利用被檢工件裝配面或疑是漏點進(jìn)行找漏。檢漏儀顯示數(shù)值超過規(guī)定值即為有漏。

氦質(zhì)譜檢漏法由于其高的靈敏度、方法的多樣性、對各種試件的適應(yīng)性以及無破壞性，使其廣泛應(yīng)用。氦質(zhì)譜檢漏設(shè)備應(yīng)在施工工作完成后進(jìn)行本測試，測試完成后不得進(jìn)行焊縫的修磨等。若設(shè)備被浸濕或有殘余的液體都會影響毛細(xì)管的泄漏而影響測試結(jié)果的真實性。氦質(zhì)譜檢漏儀是用示蹤氣體氦氣的專門用于檢漏的儀器，它性能穩(wěn)定，靈敏度高，是真空檢漏技術(shù)中較成熟的設(shè)備，使用比較普遍的檢漏儀。為工廠作業(yè)人員的安全以及環(huán)境保護(hù)，氦質(zhì)譜檢漏儀成為化工管道檢漏的的選擇。

氦質(zhì)譜檢漏儀主要技術(shù)指標(biāo)：1. 小可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s。2. 漏率顯圍：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s氦質(zhì)譜檢漏儀不會受到主觀因素判斷的影響；檢測的數(shù)據(jù)；自動生成數(shù)據(jù)保存，可追溯數(shù)據(jù)來源。氦氣檢漏儀關(guān)鍵零部件集優(yōu)采購，保證了系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性；真空箱內(nèi)氦氣本底抑零，保證了檢漏的準(zhǔn)確性、；

檢漏設(shè)備：質(zhì)譜檢漏儀之間使用金屬軟管連接。氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)在校驗后使用并在檢漏期間每 1- 2 小時校驗。檢漏的方式是：鏈接被檢化工管道和真空泵組以及氦質(zhì)譜檢漏儀，用真空泵組把管道抽真空，達(dá)到一定真空度。氦質(zhì)譜檢漏主要領(lǐng)域：航空航天——燃料箱、油箱、及各種電機等；儀表制造——壓力傳感器、閥門、波紋管和密封焊接件等。