真空泵維修對(duì)零件更換的要求

真空泵維修過(guò)程中，零部件的精度及其質(zhì)量對(duì)泵浦維修后的性能尤為重要，對(duì)此維修人員一定要對(duì)機(jī)械結(jié)構(gòu)及其原理不是了解，同時(shí)注意其零件之間的精度及配合公差，因?yàn)椴煌馁|(zhì)量的配件及其型號(hào)規(guī)格精度都對(duì)泵浦組裝后的性能產(chǎn)生重大的影響。

主要特性和優(yōu)勢(shì)

雙活塞設(shè)計(jì) | 便于維修，部件更少，各個(gè)型號(hào)之間的部件可相互替換，大間隙設(shè)計(jì)優(yōu)化了在要求嚴(yán)苛的應(yīng)用中的性能

外部平衡 | 極低的振動(dòng)級(jí)別，便于維修

三軸承設(shè)計(jì) | 堅(jiān)固耐用的重型設(shè)計(jì)，活塞和滑片使用壽命更長(zhǎng)，與市面同類型產(chǎn)品相比維修間隔平均時(shí)長(zhǎng)增加高達(dá) 50%，密封件壽命更長(zhǎng)

密封閥蓋 | 使用壽命更長(zhǎng)，低噪音，易于維護(hù)，部件之間可相互替換，適用于嚴(yán)峻環(huán)境的哈氏合金彈簧以及復(fù)位彈簧設(shè)計(jì)

O 形圈密封件 | 易于維修，維修間隔更長(zhǎng)，泄漏風(fēng)險(xiǎn)降低

集成式組裝性能 | 減少泄漏通路，便于安裝配件

低轉(zhuǎn)速 | 轉(zhuǎn)速小于 500 RPM，比市面同類型產(chǎn)品慢達(dá) 50%，損耗更少，旋轉(zhuǎn)損耗泵的壽命更長(zhǎng)，處理微粒應(yīng)用的能力更強(qiáng)

全泵速可達(dá) 1 Torr | 減少循環(huán)時(shí)間

較低的極限真空 | 極限值小于 0.01 Torr

高達(dá) 600 Torr | 持續(xù)高壓泵送，具有適用于多種應(yīng)用的靈活性，操作簡(jiǎn)單

泵系列

Stokes 212J

Stokes 412J

Stokes 612J

真空泵維修根據(jù)多年的維修經(jīng)驗(yàn)來(lái)給你分析一下多級(jí)泵安裝的流程及需要小心的注意事項(xiàng)，希望對(duì)你的安裝能有所幫助。安裝多級(jí)泵的流程及其注意事項(xiàng)：

1、將多級(jí)泵運(yùn)到現(xiàn)場(chǎng)，找平頂座時(shí)不必卸下水泵和電機(jī)；

2、直接安裝可煤氣發(fā)生爐將頂座放在地基上，在地腳螺釘附近墊上楔形鐵，將頂座墊下約20~40mm，真空泵作校平先填充 水泥漿之用；

3、用水真空泵平儀檢查多級(jí)泵頂座的水平度，找平先用水泥漿填充頂座，待水泥漿做先再檢查一下水平度；

應(yīng)用

半導(dǎo)體的目標(biāo)應(yīng)用包括：

PECVD

高 K

低 K

SACVD

LPCVD

ALD

EPI

FPD 的目標(biāo)應(yīng)用包括：

PECVD

TCO

刻蝕

傳輸腔

主要特性和優(yōu)勢(shì)

針對(duì)先進(jìn)的 EPI 和太陽(yáng)能制程大幅提高了氫氣抽取速度。

大容量干泵和 增壓泵提供擴(kuò)展的制程窗口以提高產(chǎn)量。

占地面積更小，高度更低，便于在任何工廠中安裝。

符合主要的，包括 UL、CE 和 S2。可以始終如一地使用或省略不用。

真空泵可以定義為：利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。隨著真空應(yīng)用的發(fā)展，真空泵的種類已發(fā)展了很多種，其抽速?gòu)拿棵肓泓c(diǎn)幾升到每秒幾十萬(wàn)、數(shù)百萬(wàn)升。

應(yīng)用

鍍膜

玻璃鍍膜 機(jī)的負(fù)載鎖和大型內(nèi)嵌鍍膜機(jī)

卷繞鍍膜 和粘輥

光學(xué)鍍膜、 鏡片鍍膜和顯示屏鍍膜

表面鍍膜，如等離子體沉積和 反射或裝飾鍍膜

干燥

變壓器 干燥

汽車 干燥和填充系統(tǒng)

制冷和空調(diào)

電池和電容器干燥

熱處理

回火

淬火

退火

真空 釬焊

電子束和等離子焊接

一般工業(yè)