大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子形式的安全物質，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在10ev?，適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得十分快速。在強大電場能量轟擊下污染氣體分子化學鍵被打斷，轉化為無污染的小分子。電離后的氣體分子顆粒，分子團，可以通過等離子管壁吸附下來，成液體狀從設備排泄口流出。氧分子電離后重新結合成高濃臭氧，有機氣體在臭氧的強氧化作用下，生成二氧化碳、水等小分子無污染成份。

很多的時候人們對有機廢氣處理設備不是特別了解，這種設備借助于化學物質來對有害的氣體進行凈化和吸收。工業廠房廢氣處理設備是是通過廢氣處理設備對工業廠房排出的廢氣進行處理，然后達標排放；在選擇工業廠房廢氣處理系統的時候我們需要根據廢氣成分、風量大小、廠房空間這三點來選擇袋式除塵器就已廣泛應用于各個工業部門中，用以捕集非粘結非纖維性的工業粉塵和揮發物，捕獲粉塵微粒可達0。1微米。但是，當用它處理含有水蒸汽的氣體時，應避免出現結露問題。

選擇環保設備：根據廢氣的成分來選擇，不同的廢氣成分要選用不同的設備型號，常見的廢氣成分不同設備都能處理，特殊的的成分就需要特殊的設備來處理了，否則很容易處理不達標，選擇正確的廢氣處理設備達到使用效果。有機廢氣分子必須具有一定波長光的特征吸收光譜，才能產生光化學反應。此外，輻照時間越長，光解效果越好。因此，利用紫外線燈對消毒柜內的細菌進行消毒，效果很好。催化燃燒設備采用不同的催化劑，具有活性高、穩定性好、機械強度高、使用壽命長、阻力小、適應性廣等特點。噴淋塔對粉塵氣體無要求，氣體量大，脫硫除塵率高，達到或超過排放標準。